Веќе подолго време капацитивниот принцип за мерење на температура и влажност покажува компаративни предности во однос на решенијата со отпорници чувствителни на овие физички големини. Сепак, најголемата причина што тој не е општоприфатен е едноставноста на решенијата со отпорните сензори. Но, со примена на нови генерации интегрирани сензори кои содржат повеќе склопови за обработка на сигналот на самото место на неговото настанување правејќи ја притоа понатамошната обработка крајно едноставна, ситуацијата се менува во полза на капацитивните сензори.
Капацитивниот сензор за мерење влажност е составен од диелектрик направен од полимер кој апсорбира или испушта водена пареа зависно од релативната влажност на околината. Притоа, се разбира, се менува неговата капацитивност која може да биде измерена од соодветно електронско коло. Така, добиваме резултат кој е директно пропорционален со релативната влажност на воздухот.